




半導(dǎo)體器件性能的好壞,在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量,電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí),都會(huì)極大地1推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍,正因如此,發(fā)達(dá)國(guó)家都在積極發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體,并且取得了明顯的效果,由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術(shù)的發(fā)展,而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍1工領(lǐng)域,且發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁,它影響到國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防的許多方面,因此,有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國(guó)際上多屬高度保密的技術(shù)。同光電子、微電子工業(yè)一樣,我國(guó)電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚,資金投入量也顯得相對(duì)不足。改革開(kāi)放以來(lái),中國(guó)政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè),因此,哪里供應(yīng)氣體,電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐源材料。高純電子特種氣體被形容為半導(dǎo)體工業(yè)的”血液”和”糧食”,是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽(yáng)能、光纖等先進(jìn)制造業(yè)的重要原材料,屬于國(guó)家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年,廣州氣體,相關(guān)產(chǎn)品被國(guó)外壟斷,市場(chǎng)定價(jià)權(quán)掌握在國(guó)外廠商手中。

特種氣體種類(lèi)也很多,主要分為四類(lèi),即高純氣體、零點(diǎn)氣體、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體以及一般混合氣體。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。化工特種氣體在不同的情況下是不一樣的,特種氣體,一般而言是氧氣,氮?dú)猓趸迹瑲錃獾取L胤N氣體有很多種,若說(shuō)泛指各種鋼瓶裝的氣體用途很廣無(wú)法細(xì)說(shuō),就我專(zhuān)注的電子氣體來(lái)說(shuō)一說(shuō)好了,電子氣體指是用在半導(dǎo)體、面板、LED、太陽(yáng)能制造時(shí)用的氣體.

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